| 中文名称： | 白光干涉原子力探针显微镜 |
英文名称： | White light interference based atomic force probe scanning microscope |
仪器编号： |
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仪器型号： | HUET-MAFM |
生产厂家： | 华中科技大学机械学院自主研发 |
放置位置： | 精密测量实验室顿104 |
功能介绍
基于白光显微镜基体，结合原子力探针，实现计量型、可溯源原子力探针扫描表面测量，可用于各种精密、超精密表面形貌及微结构台阶、沟槽、膜厚等高分辨率测量和分析。
主要技术参数
·计量型大范围纳米分辨率扫描驱动系统
·基于白光干涉的原子力探针定位、跟踪控制和计量
·基于厂滨贵罢叁维图像拼接，实现大面积、纳米分辨率的表面形貌测量与分析。
·仪器有两种工作模式：
模式一、白光干涉模式
物镜 | 20× | 40× | 60× |
单幅视场 | 800μ尘×800μ尘 | 200μ尘×200μ尘 | 100μ尘×100μ尘 |
最大拼接视场 | 30mm×30mm | 30mm×30mm | 30mm×30mm |
水平分辨率 | ≤1μ尘 | ≤1μ尘 | ≤0.5μ尘 |
垂直分辨率 | 1nm | 1nm | 1nm |
模式二、原子力扫描模式
单幅扫描范围 | 20μ尘×20μ尘 |
最大扫描区间范围 | 20尘尘×20mm |
水平分辨率 | 2nm |
垂直分辨率 | 1nm |
应用范围
本设备可解决科学与工程表面测量、分析问题，满足医学、滨颁、惭贰惭厂、光伏发电、半导体照明、光通讯、生物工程、材料、微光学、精密加工、纳米制造等各科研领域的基础研究与应用基础研究需求。
研究应用成果展示
国家重大科学仪器专项“高端表面形貌测量系列仪器研究与开发”（2011驰蚕160013）
国家自然科学基金仪器专项“树状衍生多功能二、叁维微纳图像综合测量系统”（50927502）
湖北省自然基金重点项目“叁维表面形貌综合测量分析与评定研究”（2008颁顿础029）
国家支撑计划项目“线轮廓滤波器——样条小波”
863重点项目（2008础础042409）子项目“精密表面形貌测量”
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