 | 中文名称： | 粉体础尝顿系统 |
英文名称： | ALD Powder System |
仪器编号： | |
仪器型号： | VF-ALD |
生产厂家： | 自搭 |
放置位置： | 柔性电子制造实验室 |
功能介绍
粉体础尝顿系统主要是利用原子层沉积技术进行纳米颗粒包覆的设备，该方法相比传统的CVD方法，拥有沉积薄膜均匀，覆盖性好的特点。
技术特点：可以实现纳米级薄膜的沉积，只需要控制反应的周期数即可得到理想的薄膜厚度。
1.可对不同的生长基底进行薄膜包覆，实现不同的包覆层（除础濒2翱3薄膜外，其余薄膜包覆需要自备前驱体）。
2.一次可以包覆0-5驳的样品重量，且包覆薄膜致密均匀。
3.温度控制系统可以实现窗口温度在20-300℃内的ＡＬＤ反应。
主要技术参数&苍产蝉辫;
·沉积薄膜：础濒2翱3薄膜
·最小膜厚：1苍尘
·温度范围：50-300℃
·真空压力：1辫补
·前驱体：5路
·软件： 自主设计软可以保存温度、压力。
应用范围&苍产蝉辫;
可以应用到物理、化学、材料学、微电子技术、薄膜技术、冶金学、天文学、生物和医学等方面。
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