| 中文名称： | 超精密运动系统基础平台 |
英文名称： | Fundamental
Platform for Ultra-Precision Motion Systems |
仪器编号： | 01201851 |
仪器型号： | SS T600/20-01 |
生产厂家： | 上海微电子装备有限公司
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放置位置： | 微纳加工与测量实验室 |
功能介绍
该平台由基础框架、主动减振器、被动平台等部件组成，主要用于超精密减振理论与关键技术研究和高性能减振系统的研制，并可为超精密加工装备、测量仪器等提供隔振基础平台。
主要功能包括：隔离外界环境振动对被控平台的干扰；抑制被控平台内部振动激励；地基振动、被控平台绝对速度和加速度的检测；产生激励、模拟实际工况，检测超精密减振系统性能等。
主要技术参数
·显示分辨率：5¾位
·单个减振器承载能力1500～2000办驳
·6自由度
·主动带宽0.6～200贬窜
·固有频率＜0.6贬锄
·共振点传递率＜+5诲产
该设备研究应用成果展示
国家973计划课题：大惯量多体系统的多场多尺度建模与纳米精度运动生成
国家863计划目标导向项目：精微机电产物结构设计方法与集成设计工具
国家02科技重大专项课题：高性能主动隔离系统研发
国家02科技重大专项课题：曝光系统动力学仿真分析及测试平台研究
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