| 中文名称： | 精密运动机构特性实验平台 |
英文名称： | Precision
Motion Mechanism Characteristic Experiment Platform |
仪器编号： | 01506841 |
仪器型号： | |
生产厂家： | 自制 |
放置位置： | 微纳加工与测量实验室 |
功能介绍
超精密运动平台有别于传统的精密运动机构，后者多由接触式运动副和刚性结构所组成，摩擦、发热及振动传递等因素制约了这类机构结构的动力学特性，目前这类
机构的运动精度能达到微米级。
技术特点：
1.利用气体润滑理论，建立了气浮气膜的叁维力学模型，数值仿真和物理实验结果表明，建模精度较现有的二维模型有较大的提高；
2.采用数值仿真方法，分析了气浮支承中压力腔形状、结构尺寸等结构因素和供气压力、气膜间隙等工艺参数对气旋的影响规律，并通过物理实验方法研究了不同
条件下系统微振动的特性，阐明了气旋是引起系统微振动的主要因素。
主要技术参数
·水平向定位精度±0.5μ尘
·垂向定位精度±0.3μ尘
·具备气浮轴承支承特性测试功能
应用范围
广泛应用于物理、化学、材料学、微电子技术、薄膜技术、冶金学、天文学、生物和医学等方面。
学院微信公众号