| 中文名称： | 钨灯丝扫描电子显微镜 |
英文名称： | Tungsten
Filament Scanning Electron Microscope |
仪器编号： | 01213955 |
仪器型号： | JSM-6610LV |
生产厂家： | 日本电子株式会社 |
放置位置： | 微纳加工与测量实验室 |
功能介绍
钨灯丝扫描电子显微镜是一款结构紧凑的高性能、高效率电子显微镜，可以观测纳米样品尺寸的形貌成像，尤其是用外表尺寸较大的样品。
技术特点：提供二次电子成像、背散射成像、成分像、形貌像等多种图像模式。
1) 可以对不同尺寸样品进行表面形貌分析。
2) 可以同时对导电样品和不导电（需做镀膜处理）进行分析。
3) 抽真空时间快，操作简单。
4) 配有样品台导航系统，可事先使用CCD数字影像系统进行拍照，利用照片对样品位置进行导航，方便切换、位移样品。
主要技术参数&苍产蝉辫;
·在高真空、加速电压30碍惫下二次成像分辨率可达3.0苍尘
·最高可达20000倍成像；
·观测样品直径可达200尘尘，观测范围125尘尘*100尘尘
应用范围&苍产蝉辫;
主要用于观测导电固体以及半导体。不导电固体表面镀金属膜之后也可以观测，低真空模式下含水分的固体也可以测量。
研究应用成果展示&苍产蝉辫;
一维纳米材料机械与电性能测量与应用。数字制造装备与技术国家重点实验室“纳米材料机械性能测试与纳米组装平台的关键技术研究”项目。
光纤纳米控针形貌观测。
跨尺度微纳仿生结构观测。
阳极氧化名铝纳米结构形貌制备及观测。
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