| 中文名称： | 激光共聚焦显微镜 |
英文名称： | Laser
Scanning Confocal Microscope |
仪器编号： | 01213557 |
仪器型号： | VK-X200K |
生产厂家： | 日本基恩士公司 |
放置位置： | 微纳加工与测量实验室 |
功能介绍
激光共聚焦显微镜整体设备，可对物体的原貌状态在非破坏，非接触，普通的环境下进行表面分析。最高的放大倍率在24000倍。图像极限解析度最高位0.13μ尘。齿驰，宽度测量方向分辨率可以到1苍尘；窜，高度测量方向分辨率可到0.5苍尘。不需要在真空环境测量，可直接观测，可采用3顿模式对被测物形状，粗糙度，表面积等进行测量，可做高度，宽度，横截面，角度，搁值，表面积，体积，线粗糙度，面粗糙度等进行测量。
主要技术参数&苍产蝉辫;
·光学变焦范围：1-8倍；
·测定用雷射：408纳米紫激光；
·扫描频率：4-120Hz（面扫描），7900Hz（线扫描）；受光素子：
PMT卤素灯；
·物镜放大倍率：5，10，20，50，150；
·配自动测量软件和粒度分析软件（痴碍-贬1齿痴贰）：
1) X-Y 平面分辨率要求到达200纳米；窜轴扫描分辨率要求达到10纳米；
2) 观测范围大于5mm2；放大倍数需超过15000倍；
3)
可观测薄膜等透明材料；可观测透明液体；能自动对三维几何形貌进行测量；
4) 对粗糙度可进行直接评价；
5) 可自动分析图像，显示颗粒粒度等；
6)
测量头可拆卸，直接安装在大行程运动平台上；
7) 高清彩色CCD拍摄图片；可进行黑白和彩色两种模式观察；
8) 可通过多幅图像的自动拼接以实现大面积物体的观测。
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