| 中文名称： | 双频激光干涉测量系统 |
英文名称： | Dual
Frequency Laser Interference Measurement System |
仪器编号： | 01310127 |
仪器型号： | STIF47A1 |
生产厂家： | 上海微电子装备有限公司
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放置位置： | 微纳加工与测量实验室 |
功能介绍
纳米级运动测量，测量工件台运动过程中的水平叁自由度位姿，并实时反馈。
主要技术参数
·量程：1尘尘词10尘尘
·分辨率：0.15苍尘
·功能：3轴同步测量
·测量精度：优于10苍尘
·双轴干涉仪：
左入光 体积<115mm*90mm*42mm
·补偿方式：
波长跟踪器补偿
·数据输出：Ethernet
接口，提供API 程序接口，4 通道位移数据处理，位移数字输出
应用范围
广泛应用于机械、物理学、材料学等领域。
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