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中文名称： |
纳米力学性能综合测试系统(纳米压痕仪) |
英文名称： |
Agilent Nano Indenter |
仪器编号： |
01822009 |
仪器型号： |
G200 |
生产厂家： |
美国是德科技公司 |
放置位置： |
柔性电子制造实验室叠108 |
功能介绍
用于各种材料(块体材料或薄膜材料)的纳米综合（力学性能）的静态和动态测试，包括材料的纳米压痕、纳米划痕、原位扫描成像等力学特性测试。可以提供材料的压痕硬度，弹性模量，蠕变，断裂韧性，摩擦系数，基结合强度，弹性，塑性功，储能模量，损耗模量等参数。还能快速给出材料的硬度与弹性模量随样品深度的变化曲线，可用于研究材料的裂纹特性等。
主要技术参数
1 压痕测试模块
1.1 标准压痕系统
a) 压头总的位移范围≥1.5mm
b) 最大压痕深度 ≥ 500mm
c) 位移分辨率 ≤ 0.02nm
d) 最大载荷 ≥ 500mN
e) 载荷分辨率 ≤ 50nN
1.2 高分辨率加载模式
a) 位移分辨率 0.0002 nm
b) 最大压痕深度 ≥15mm
c) 位移噪声水平 < 0.2nm
d) 最大载荷 ≥ 30mN
e) 载荷分辨率 ≤ 3nN
f) 载荷噪声水平 ≤ 40nN
2 划痕和磨擦磨损测试模块
2.1 纳米划痕功能：
a)用于定量测试膜基结合强度（临界载荷）、表面抗划擦能力。可以测试划痕深度、划痕宽度、凸起高度以及材料的粘弹性恢复等力学性能，
c) 最大划痕长度 ≥100mm
d) 最大划痕力（Z方向）≥500mN
e) 最大划擦深度 ≥500mm
2.2 摩擦磨损模式：
a) 系统能够扫描并显示试样表面任意方向的轮廓图,实现台阶仪功能。
b) 最大划痕力（Z方向）≥ 500mN
d) 最大磨损面积 ≥10mm*10mm
3 动态力学性能测试
3.1 连续刚度测量模式
a)能够通过一次压痕获得接触刚度、硬度和弹性模量随压痕深度的连续函数分布；
4 光学成像系统
a) 显微镜带有位置反馈（Microscope with position feedback）控制
b) 该系统配有高分辨率的彩色CCD和与之匹配的图形采集系统
c) 配有三个放大倍率分别为10x、40x和100x的物镜
d) 屏幕上最高放大倍率 ≥1000x
5 X-Y样品定位台
a) X方向移动范围 ≥200mm；驰方向移动范围 ≥200mm
b) 定位分辨率≤ 0.1mm
c) 定位精度 ≤ 1mm
d) 样品台包括试样高度精细调节器，能够使得每个样品原位调节高度。
6 原位扫描成像功能模块
a）设备必须能够使用同一个压头既能实现纳米压痕测试，又能用它进行原位扫描成像，获得试样表面压痕前后的三维图像，从而实现超高精度定位纳米压痕测试。
b) X 和Y 扫描范围 ≥500 mm x 500 mm
c) Z 方向扫描范围 ≥450mm
d) Z 方向分辨率 ≤&苍产蝉辫;0.1nm
e) X-Y方向成像分辨率最大为 ≥1024 x 1024像素
应用示例
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