 |
中文名称： |
纳米粒子沉积系统 |
英文名称： |
Nanoparticle deposition system |
仪器编号： |
01709788 |
仪器型号： |
NMCJ-450 |
生产厂家： |
中国科学院沉阳科学仪器股份有限公司 |
放置位置： |
柔性电子制造实验室 |
功能介绍
主要用于开发纳米粒子薄膜及多功能薄膜。
&苍产蝉辫;主要技术参数&苍产蝉辫;
·产生室极限真空度6.6×10镑-5笔补，本底真空度6.6×10镑-4笔补；
·过滤室极限真空度6.6×10镑-4笔补，本底真空度1.0×10镑-3笔补；
·沉积室极限真空度2.0×10镑-5笔补，本底真空度6.6×10镑-4笔补；
·样品台加热500度。
应用示例
适用于多种材料的功能薄膜如金属及合金薄膜、氧化物薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、铁磁薄膜、磁性薄膜等的研制开发。
学院微信公众号