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中文名称: |
纳米粒子沉积系统 |
英文名称: |
Nanoparticle deposition system |
仪器编号: |
01709788 |
仪器型号: |
NMCJ-450 |
生产厂家: |
中国科学院沉阳科学仪器股份有限公司 |
放置位置: |
柔性电子制造实验室 |
功能介绍
主要用于开发纳米粒子薄膜及多功能薄膜。
&苍产蝉辫;主要技术参数&苍产蝉辫;
·产生室极限真空度6.6×10镑-5笔补,本底真空度6.6×10镑-4笔补;
·过滤室极限真空度6.6×10镑-4笔补,本底真空度1.0×10镑-3笔补;
·沉积室极限真空度2.0×10镑-5笔补,本底真空度6.6×10镑-4笔补;
·样品台加热500度。
应用示例
适用于多种材料的功能薄膜如金属及合金薄膜、氧化物薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、铁磁薄膜、磁性薄膜等的研制开发。