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中文名称： |
白光干涉仪（高精度几何及表面形貌检测设备） |
英文名称： |
white light interferometer (High Precision Surface Profiler) |
仪器编号： |
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仪器型号： |
NewView 8300 |
生产厂家： |
美国 Zygo公司 |
放置位置： |
微纳加工与测量实验室 |
测量原理
白光干涉仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，它以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面叁维形貌光学非接触白光干涉原理对样品进行表面轮廓测量，从而获取样品表面叁维形貌。
功能介绍
提供强大的多功能的非接触式光学表面测量分析。可以简单快速地测量各种表面类型，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯式的表面，所有测量无损、快速，且无需样品制备。提供专业的分析软件，可极其精准地描绘和定量分析表面粗糙度、轮廓度、平面度、台阶高度、曲率半径等形貌特征。
主要技术参数 ：
·纵向分辨率：优于0.15苍尘
·扫描速度：≥110 μm/s
·纵向扫描范围：0～8尘尘，非拼接
·搁惭厂重复性：＜0.01苍尘
·系统单次测量视场：最大可扩展到3mm × 3mm
·台阶测量：准确度 ≤ 0.75%；重复性 ≤ 0.1% 1σ
·样品台：自动齿，驰平移(150尘尘)；平台大小：200尘尘×200尘尘
·镜头：4个镜头自动砖塔；目镜：0.55虫,1虫，物镜：20虫,2.5虫
项目支撑：
高品质复杂零件智能制造基础研究(国家973项目)
超精密铣削加工中的刀具与工件接触分析和动力学模拟（国家自然科学基金面上项目）
面向脑科学研究的多面体结构高性能分子成像仪器研制（国家自然科学基金重大科研仪器研制项目）
基于刀具变形和工件亚表层质量预测模型的自由曲面超精密铣削加工运动规划（国家自然科学基金面上项目）
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