发明专利名称:一种低刚度的磁悬浮重力补偿器及微动台结构
发明人:陈学东,陈冬郎,曾理湛,赵鹏程,胡兰雄
专利申请日:2017年05月24日
授权公告日:2018年06月12日
专利号:ZL 201710371037.9
证书号:2956220
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