发明专利名称：一种低刚度的磁悬浮重力补偿器及微动台结构
发明人：陈学东，陈冬郎，曾理湛，赵鹏程，胡兰雄
专利申请日：2017年05月24日
授权公告日：2018年06月12日
专利号：ZL 201710371037.9
证书号：2956220
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